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海德漢光柵尺和發(fā)格光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。heidenhain海德漢光柵尺和FAGOR發(fā)格光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大，檢測*度*，響應(yīng)速度快的特點。例如，在數(shù)控機床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到*個補償dao具的運動誤差的作用。光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。